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">Newsnet 2022-10-05 23:35
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  • 欧美大尺度电影群p-20221005-

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    • 欧美大尺度电影群p-20221005-

    • 产品型号:
    • 产品厂商:成越科仪
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    简单介绍:
    该电子束蒸发方式镀膜仪,主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜
    详情介绍:

    该电子束蒸发方式镀膜仪,主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,微纳器件微加工,电镜样品预处理等,尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底,也可用用于PDMS、PTFEPI等柔性衬底上镀膜。

    电子束蒸发镀膜仪设备技术参数

    使用条件

    环境温度

    5℃~40

    电源

    380V

    功率

    20KW

    水压

    2.5bar

    真空室尺寸

    蒸发室尺寸

    φ500×H500()

    过渡仓库

    φ280×H300()

    电子枪

    新型电子枪1套,6穴坩埚

    离子源

    考夫曼离子源K08一套

    样品转盘

    样品尺寸:≤φ150mm,样品可旋转,也可上下升降调节样品到电子枪距离(样品托形状按用户要求设计),加热温度≤500

    系统真空度

    极限真空

    12~24小时烘烤,连续抽气5x10-5Pa

     

    抽气速率

    从大气开始40分钟内真空度≤5x10-4Pa

     

    系统漏率

    整机漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵关机12小时后,测量真空室真空度≤10Pa

    抽真空系统

    TY1200分子泵+机械泵(VRD-30)系统,并设置旁路抽气

    镀膜监测

    采用TM160膜厚仪进行监测

    镀膜厚度的不均匀度

    ≤3%

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